黃光蝕刻製程代工 產品介紹
黃光機台介紹
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說明

塗布(Coating)
自動塗佈機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃
 

曝光(Exposure)
自動曝光機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃
 

顯影(Development)
自動顯影機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃
 

濕式蝕刻(Wet etching/Stripping)
批次式濕式蝕刻機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃
 

乾式蝕刻(Dry etching/Plasma)
 
常壓電漿蝕刻機、自動電漿蝕刻機
適用產品尺寸: 6, 8, 12吋晶圓、玻璃
 

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